產品詳細介紹大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，大功率1000w，配有水冷機接口，可長時間運行。該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
主要特點：輕便、濺射面積大靶材可按用戶要求加工制作
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術資料
控制方式
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
加熱方式
數字式功率調整器
鍍膜功能
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率
≤1200W
輸出電壓電流
電壓≤12V 電流≤120A
真空度
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺
可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速
8轉/分鐘
樣品蒸發(fā)源調節(jié)距離
70-140mm
蒸發(fā)溫度調節(jié)
≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型
鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩
預留真空接口
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展
機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）
數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）
分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2024-06-12
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